Piezo­elektrische Sensoren & Aktuoren

Vakuum­beschichtungs­anlagen für Metallisierung

Von Smartphones bis hin zu Smartwatches treiben piezoelektrische Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (piezoMEMS) die winzigen Sensoren an, die unsere Geräte reaktionsfähig, intuitiv und energieeffizient machen. Mit extrem niedrigem Stromverbrauch und hoher Empfindlichkeit sind piezoMEMS die unsichtbare Kraft, die die Zukunft der Wearable-Technologie, des IoT und des smarten Lebens antreibt.

Die OPTA X Plattform ermöglicht die präzise Abscheidung von leistungsstarken piezoelektrischen Materialien wie AlN und AlScN. Sie sind speziell für piezoMEMS-Anwendungen zugeschnitten aufgrund ihrer hervorragenden mechanischen Eigenschaften, CMOS-Kompatibilität und Umweltstabilität. Diese fortschrittlichen Dünnschichten erleichtern die Herstellung hochsensibler Sensoren und Aktuatoren, indem sie mechanische Kräfte und Verschiebungen effizient in elektrische Signale umwandeln und umgekehrt.

Mit unserem neuen Verfahren können Sie eine zuverlässige Homogenität sowohl in der Dicke als auch in der Stöchiometrie über 200-mm- und 300-mm-Wafer-Substrate hinweg erzeugen, wodurch Durchsatz und Ausbeute in der Massenproduktion optimiert werden.