Den Boden bereiten
für funktionale Schichtendurch Vorbehandlung

Oberflächen­behandlung wird häufig als Vor­behandlung eingesetzt, um die oberste Schicht zu reinigen, zu ent­fernen oder zu akti­vieren. Die Vor­behandlung dient auch dazu, eine optimale Schnitt­stelle für die Schicht zu bilden, die abge­schieden werden soll.

Dies ist notwendig, weil die Substrat­oberfläche oft nicht gut definiert ist. Außer­dem gibt es verschie­dene Rück­stände, wie Oxide und Hydroxide des Substrat­materials, Wasser, adsor­bierte Gase und Rest­verunreinigungen aus früheren Pro­zessen. Diese Fak­toren können eine zuverlässige mecha­nische oder funktio­nale Schicht­aufbringung verhindern.