Die VICA900 Anlagenplattform als Teil der VICA Produktfamilie setzt hinsichtlich Prozess- und Beschichtungsvielfalt neue Maßstäbe. Sie ist für Produktionsszenarien mit mittlerem bis hohem Durchsatz konzipiert und konsequent auf marktführende Gesamtbetriebskosten optimiert.
Dank ihres modularen und flexiblen Aufbaus können Sie die Anlagen genau nach Ihren Bedürfnissen konfigurieren. Besonders hervorzuheben sind dabei die Möglichkeit der vertikalen und beidseitigen Beschichtung sowie ein flexibles Carrier-Konzept, das die Aufnahme einer Vielzahl verschiedener Substratgrößen und -materialien erlaubt.
Die Systeme bieten eine hohe Prozessflexibilität für Sputter- und Verdampfungsprozesse sowie diverse Vor- und Nachbehandlungsmethoden. Mit der Integration der HCLA-Technologie stellt die VICA900 ein echtes Novum dar, da dieses Verfahren erstmals in einer Inline-Anlage zum Einsatz kommt.
Die VICA900 Anlagenplattform verfügt darüber hinaus über vorab definierte und standardisierte Schnittstellen für entsprechende Automatisierungslösungen zur Be- und Entladung.
