VICA
Vertikale Beschichtungsanlage

Metallische Bipolar­platten

Die VICA900 Anlagen­platt­form als Teil der VICA Produkt­familie setzt hinsichtlich Prozess- und Be­schichtungs­vielfalt neue Maß­stäbe. Sie ist für Produktions­szenarien mit mittlerem bis hohem Durch­satz konzipiert und konse­quent auf markt­führende Gesamtbetriebskosten optimiert.

Dank ihres modularen und flexiblen Auf­baus können Sie die Anlagen genau nach Ihren Bedürfnissen kon­figurieren. Besonders hervorzu­heben sind dabei die Möglichkeit der vertikalen und beid­seitigen Be­schichtung sowie ein flexibles Carrier-Konzept, das die Aufnahme einer Vielzahl ver­schiedener Substratgrößen und -materialien erlaubt.

Die Systeme bieten eine hohe Prozess­flexibilität für Sputter- und Ver­dampfungs­prozesse sowie diverse Vor- und Nach­behandlungs­methoden. Mit der Integration der HCLA-Technologie stellt die VICA900 ein echtes Novum dar, da dieses Verfahren erstmals in einer Inline-Anlage zum Einsatz kommt.

Die VICA900 Anlagen­plattform verfügt darüber hinaus über vorab definierte und standard­isierte Schnitt­stellen für ent­sprechende Automatisierungslösungen zur Be- und Entladung.

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Skalierbar und flexibel

 durch modulares Design

Unübertroffene Auswahl an PVD-Prozessen

dank vielfältiger Technologiekomponenten

Große Substratvielfalt

dank flexiblem Carrier-Konzept

VICA900 Beschichtungsanlage für mittleres Volumen
VICA900 Mid Volume
  • Basis-Anlage für mittleren Durchsatz
  • Kombinationen aus Vorbehandlung, Magnetron Sputtern und HCLA für beidseitige Beschichtung
  • Kompakter Bauraum und modulare Erweiterbarkeit
VICA900 High Volume
  • Produktionsanlage mit Fokus auf hohen Durchsatz und marktführenden Gesamtbetriebskosten
  • Kombinationen aus Vorbehandlung, Magnetron Sputtern und HCLA für beidseitige Beschichtung
  • Modularität für diverse Prozesse und Anwendungen
VICA900 Mid Volume von vorn
VICA900 High Volume von vorn
VICA900 Mid Volume von oben
VICA900 High Volume von oben
VICA900 aus Operator-Perspektive
VICA900 aus Operator-Perspektive
VICA900 Detail
Technologien
Magnetron-SputternKerntechnologie aus eigener Entwicklung & FertigungMehr erfahren
High Current Laser Arc Verdampfenfür vielfältige KohlenstoffbeschichtungenMehr erfahren
Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

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Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

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Media
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