mit ther­mischen oder plasma­basierten Verfahren

Kompo­nenten für Vorbehandlung
Für saubere, bindungs­aktive Substrat­oberflächen

Oberflächen­behandlung wird häufig als Vor­behandlung eingesetzt, um die oberste Schicht zu reinigen, zu ent­fernen oder zu akti­vieren. Die Vor­behandlung dient auch dazu, eine optimale Schnitt­stelle für die Schicht zu bilden, die abge­schieden werden soll.

Dies ist notwendig, weil die Substrat­oberfläche oft nicht gut definiert ist. Außer­dem gibt es verschie­dene Rück­stände, wie Oxide und Hydroxide des Substrat­materials, Wasser, adsor­bierte Gase und Rest­verunreinigungen aus früheren Pro­zessen. Diese Fak­toren können eine zuverlässige mecha­nische oder funktio­nale Schicht­aufbringung verhindern.

Zum Einsatz kommen hier ther­mische oder plasma­basierte Verfahren, mit denen im Vakuum, unmittel­bar vor der Beschich­tung restliche organische Oberflächen­verunreinigungen oder Wasser­moleküle von der Ober­fläche entfernt werden.

Je nach Material oder Verunreinigungs­grad ver­dampfen die Oberflächen­belegungen durch Temperatur­einfluss. Oder sie werden durch Ionen­beschuss regel­recht abgetragen. 

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