Magnetron-Sputtern
Kerntechnologie aus eigener Entwicklung & Fertigung

Einer unser wichtigsten Kerntechnologien ist das Magnetronsputtern, auch Kathodenzerstäubung genannt. Bei diesem Verfahren wird das Beschichtungsmaterial aus einem festen Körper (Target) abgetragen und auf das Substrat übertragen.

Das geschieht in einer magnetfeldverstärkten Gasentladung im Vakuum. Durch diese Entladung wird ein Plasma, ein Mix aus Elektronen und positiven Gasionen erzeugt. Die positiv geladenen Ionen werden durch ein elektrisches Feld auf die Oberfläche des Targets, das als Katode geschaltet ist, beschleunigt. Dadurch werden einzelne Atome aus der Target-Oberfläche herausgeschlagen.

Diese Atome kondensieren auf einem Substrat, zum Beispiel Glas, und bilden die Funktionsschicht. Dabei wird das Substrat entweder kontinuierlich an der Magnetron-Sputterquelle vorbeigeführt (dynamische Beschichtung) oder es wird eine definierte Zeit dem Dampfstrom ausgesetzt (statische Beschichtung). Die Dicke der Schicht wird bei der dynamischen Beschichtung durch die Materialabtragungsrate vom Target sowie der Durchlaufgeschwindigkeit des Substrates bestimmt. Bei der statischen Beschichtung ist die Verweildauer für die Dicke bestimmend.

Magnetronsputtern kann für eine Vielzahl von metallischen und keramischen Schichtmaterialien eingesetzt werden. Je nach Verfahren können komplexe Schichten mit einer Dicke bis zu einigen hundert Nanometern sehr effizient und mit hoher Gleichförmigkeit auf großen Flächen abgeschieden werden. Zum Einsatz kommen, je nach Anwendung, rohrförmige oder ebene Targets, deren Länge mit der Breite der zu beschichtenden Substrate skaliert werden kann.

Magnetrons sind Schlüsselkomponenten bei VON ARDENNE. Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfangreichen Erkenntnisse einfließen lassen, die wir durch hunderte ausgelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.

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Sehr umfangreiches Prozess-Knowhow

für unterschiedlichste Sputteranwendungen

Abscheidung von komplexen Schichtsystemen

mit hoher Homogenität auf kleinen und großen Flächen

Breites Portfolio verschiedener Magnetron-Typen

aus eigener Entwicklung & Fertigung

Anlagen

Komponenten

Software

Support

Media

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Ansprechpartner

Ronny Borchel

Product Manager Plasma Components VON ARDENNE GmbH

Sales Team

Am Hahnweg 8
01328 Dresden
Deutschland

Magnetron-Sputtern Kerntechnologie aus eigener Entwicklung & Fertigung

Sehr umfangreiches Prozess-Knowhow

Abscheidung von komplexen Schicht­systemen

Breites Portfolio verschiedener Magnetron-Typen

Engineering Simulation . Bemusterung . Auslegung

Technology & Application Center Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

Service Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

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