HISS
Horizontale Beschichtungsanlage

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Die HISS ist eine modulare Beschichtungs­anlage mit einem Carrier-basierten Substrat­transport. Sie ist die beste Wahl, wenn Sie nach einer sehr flexiblen Produktions­anlage mit kleinem oder mittlerem Durchsatz suchen, die mit bewährter Technologie ausgestattet ist.

Dank ihres modularen Aufbaus kann die HISS nach Ihren Bedürfnissen konfiguriert werden. Wir bieten verschiedene Konfigurationen an, wie zum Beispiel die Version mit nur einem Ende für einen kleineren Produktions­umfang.

Das System bietet eine hohe Prozess­flexibilität, da die Prozess­kammer sowohl mit Magnetrons mit planaren als auch mit rotierenden Targets bestückt werden kann. Komponenten zur Ionen-Vorbehandlung sowie zum Heizen und Kühlen sind auf Anfrage verfügbar. Alle angrenzenden Kammern, wie Be- und Entladekammer, Puffer- und Transport­kammer können in ähnlicher Weise aufgerüstet werden.

Die flexible und dynamische Konstruktion der Anlage mit standardisierten Unter­komponenten ermöglicht eine kunden­spezifische Konfiguration. Die Anlage kann also an neue Prozesse oder Anforderungen angepasst werden. Daher können unsere Kunden mit dieser Anlage auf Änderungen der Anforderungen an Produkt und Prozess reagieren.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Hohe Prozessflexibilität

durch Kompatibilität mit verschiedenen Magnetrons

Leicht anpassbar an Ihre Bedürfnisse

durch flexible Konfigurations­optionen

Skalierbar

durch modulares Design

Komponenten
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Linear Ionenquelle.
LION Lineare Ionenquelle Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung eines Verdampfungsprozesses im Vakuum.
Linearverdampfer für wärmeempfindliche Materialien Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Magnetbar.
Magnetbars für Rohr-Magnetrons Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Planar Magnetrons.
Planar-Magnetrons für Sputter-Anlagen Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Rotatable Magnetron.
Rohr-Magnetrons für Sputter-Anlagen Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Prozesskontrollsystems VAprocos.
VA PROCOS 2 Prozess­kontroll­system für reaktives Sputtern Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Endblock.
X-Series Endblöcke Drop-In End­blöcke für Sputter-Anlagen Mehr erfahren
Software
VA PPROCESSMASTER Automatisierte Prozessstablisierung Mehr erfahren
VA RECIPEMASTER Rezeptverwaltung, automatische Rezeptausführung & Wechsel Mehr erfahren
Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

Mehr erfahren

Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

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Baoji, Exhibition Center

 

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OptecNet Fürstenfeldbruck 2023

Fürstenfeldbruck, Veranstaltungsforum

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SPIE Defense Orlando 2023

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Orlando, Gaylord Palms Resort & Convention Center

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