HISS

Horizontale Beschichtungsanlage

Die HISS ist eine modulare Beschichtungs­anlage für die horizontale Bearbeitung von Substraten. Sie ist die beste Wahl, wenn Sie nach einer sehr flexiblen Produktions­anlage mit kleinem oder mittlerem Durchsatz suchen, die mit bewährter Technologie ausgestattet ist.

Dank ihres modularen Aufbaus kann die HISS nach Ihren Bedürfnissen konfiguriert werden. Wir bieten verschiedene Konfigurationen an, wie zum Beispiel die Version mit nur einem Ende für einen kleineren Produktions­umfang.

Das System bietet eine hohe Prozess­flexibilität, da die Prozess­kammer sowohl mit Magnetrons mit planaren als auch mit rotierenden Targets bestückt werden kann. Komponenten zur Ionen-Vorbehandlung sowie zum Heizen und Kühlen sind auf Anfrage verfügbar. Alle angrenzenden Kammern, wie Be- und Entladekammer, Puffer- und Transport­kammer können in ähnlicher Weise aufgerüstet werden.

Die flexible und dynamische Konstruktion der Anlage mit standardisierten Unter­komponenten ermöglicht eine kunden­spezifische Konfiguration. Die Anlage kann also an neue Prozesse oder Anforderungen angepasst werden. Daher können unsere Kunden mit dieser Anlage auf Änderungen der Anforderungen an Produkt und Prozess reagieren.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.