HISS
Horizontale Beschichtungsanlage

Die HISS ist eine modulare Beschichtungs­anlage für die horizontale Bearbeitung von Substraten. Sie ist die beste Wahl, wenn Sie nach einer sehr flexiblen Produktions­anlage mit kleinem oder mittlerem Durchsatz suchen, die mit bewährter Technologie ausgestattet ist.

Dank ihres modularen Aufbaus kann die HISS nach Ihren Bedürfnissen konfiguriert werden. Wir bieten verschiedene Konfigurationen an, wie zum Beispiel die Version mit nur einem Ende für einen kleineren Produktions­umfang.

Das System bietet eine hohe Prozess­flexibilität, da die Prozess­kammer sowohl mit Magnetrons mit planaren als auch mit rotierenden Targets bestückt werden kann. Komponenten zur Ionen-Vorbehandlung sowie zum Heizen und Kühlen sind auf Anfrage verfügbar. Alle angrenzenden Kammern, wie Be- und Entladekammer, Puffer- und Transport­kammer können in ähnlicher Weise aufgerüstet werden.

Die flexible und dynamische Konstruktion der Anlage mit standardisierten Unter­komponenten ermöglicht eine kunden­spezifische Konfiguration. Die Anlage kann also an neue Prozesse oder Anforderungen angepasst werden. Daher können unsere Kunden mit dieser Anlage auf Änderungen der Anforderungen an Produkt und Prozess reagieren.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Hohe Prozessflexibilität

durch Kompatibilität mit verschiedenen Magnetrons

Leicht anpassbar an Ihre Bedürfnisse

durch flexible Konfigurations­optionen

Skalierbar

durch modulares Design

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27.09.2023 - 28.09.2023
H2 Technology Expo Bremen 2023

Booth: 5H130
Bremen, Messe

01.10.2023 - 04.10.2023
Titanium Denver 2023

Booth:  581
Denver, Gaylord of the Rockies Resort

04.10.2023 - 06.10.2023
REI India 2023

Noida, India Expo Center Greater Noida

16.10.2023 - 19.10.2023
SPIE Optifab Rochester 2023

Rochester, Joseph A. Floreano Riverside Convention Center

05.11.2023 - 11.11.2023
AVS Symposium & Exh. Portland 2023

Portland, Oregon Convention Center

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Deutschland

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