mit modernen Mess­systemen

Messsysteme
für die Vakuumbeschichtung

Der kontinu­ierliche Nachweis der Schicht­eigenschaften im Beschichtungs­prozess ist eine wichtige Aufgabe, wenn Sie eine  Beschichtungs­anlage betreiben. Das betrifft sowohl die Qualitäts­sicherung als auch die Fehler­erkennung und Parameter­steuerung. Wichtige Mess­größen sind hier optische Eigen­schaften, wie Reflexion und Transmission. Aber auch der Flächen­widerstand ist entscheidend.

VON ARDENNE bietet hier zwei Lösungen an. Das In-Situ-Messsystem besteht aus lokal fest verbauten Mess­köpfen in der Anlage nach jedem Beschichtungs­schritt. Sie liefern in einer Spur Informationen zur jeweiligen Einzel­schicht. Das Ex-Situ-Messsystem scannt die gesamt Oberfläche des beschichteten Produktes nachdem es die Anlage verlassen hat.

Mit den Informationen aus beiden Systemen können Sie die Eigenschaften und deren Verteilung zur Qualitätssicherung messen. Und Sie können Rückschlüsse auf die Steuerung der Prozessparameter jeder Einzelschicht gewinnen. 

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