In-Situ Messsysteme

für Vakuumbeschichtung

In-Situ-Mess­systeme kombinieren Mess­ergebnisse von verschiedenen Beschichtungs­schritten innerhalb der Anlage und helfen bei der Prozess­überwachung. Sie sind entscheidend für die Qualitäts­kontrolle und für die Minimierung der Zeit, die für Anpassungen benötigt wird.

Dafür werden die Schichten charakterisiert und überwacht, indem ihre Trans­mission, Reflexion und ihr Schicht­widerstand sowie andere optische Eigenschaften gemessen werden.

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