Thermisches Verdampfen
von organischen & anorganischen Materialien

Thermisches Verdampfen ist ein weiteres Verfahren der physikalischen Gasphasen­abscheidung (PVD), das im VON ARDENNE Beschichtungs­anlagen zum Einsatz kommt. Es beruht auf der thermischen Ver­dampfung von organischen und anorga­nischen Materialien aus einem geschlosse­nen Tiegel.

Bei diesen so­genannten Linear­verdampfern wird der Dampf durch ein beheiz­tes Rohr geführt, welches quer zum durch­laufenden Substrat angeordnet ist. Mittels einer Düsen­anordnung entlang des Rohres wird der Dampf über die Breite des Substrates verteilt und konden­siert in einer homo­genen Schicht auf dem Substrat.

Dieses Konzept ermöglicht den Bau skalier­barer Quellen mit begrenz­tem Platzbedarf für verschiedene Substrat­materialien und -abmessungen. Durch eine gezielte Dampf­überlagerung von mehreren benachbarten Verdampfungs­rohren können damit auch Misch­schichten erzeugt werden.

Dies ist ein Schlüssel­prozess für die Herstellung der nächsten Generation hoch­effizienter Solar­zellen, die auf organisch-­anorganischen Hybrid-­Materialien basieren: den Perows­kiten. Dafür haben wir ein Konzept entwickelt, das die gleich­zeitige Verdampfung von bis zu 4 verschiede­nen Materialien ermöglicht.

Weitere Anwendungen dieser linearen Verdampfungs­technologie sind Anti­reflexschichten mit zusätzlichen wasser- und fett­abweisenden Ober­flächen, beispiels­weise bei Displays.

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Geringer Platzbedarf

gegenüber anderen Abscheide­verfahren

Leicht skalierbar

für unterschiedliche Substrat­breiten

Misch- oder Gradienten­schichten aus unterschiedlichen Materialien

durch Co-Verdampfung mit zwei Quellen

Anlagen
Anlagen
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