OPTA X
Drehteller-­Beschichtungs­anlage

Optische Interferenzfilter Halb­leiter Linsen & Optische Dome Displays für Fahrzeuge Displays für Unter­haltungs­elektronik Wafer-Level-Optik

Mit der OPTA X erhalten Sie eine Beschichtungsanlage für die anspruchs­vollsten optischen Schicht­systeme. Das trifft ins­be­son­de­re für Mulitlagenoptik mit einer ho­her An­zahl von wechselnden Schichten zu.

Die Anlage beschichtet horizontal. Für eine optimale Beschichtung kommt an der OPTA X die spezielle CARS-Prozess­technologie zum Einsatz. Aber auch weitere Prozess­führungen wie Meta Mode, reaktives oder nicht reaktives Sputtern stehen zur Verfügung. 

Auf bis zu fünf Ports pro Beschichtungs­seite können Ma­gnetrons und/oder Plasma­quellen integriert werden. In-situ-Mess­technik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungs­fortschritts steht ebenfalls für optisches Monitoring zur Verfügung.

Die Anlage besitzt ein automatisches Handling­system. Es ist modular aufgebaut und ermöglicht eine sichere Bestückung der OPTA X mit unterschiedlichen Substraten, die in anpassbaren Carriern durch die Anlage geschleust werden.

Je nach Prozess- und Produktivitäts­anforderungen können verschiedene Modultypen kombiniert werden. Beispiele dafür wären mehrere Magazin­schleusen oder Vor- und Nachbehandlungs­kammern.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Höchste Präzision

durch homogene Beschichtungen auf optischen Komponenten

Höchste Qualität

durch saubere, defektarme optische Schichten

Variable Produktanpassung:

Schicht­systeme & Bauteil-Geometrie

Komponenten
Perspektivische Darstellung eines VON ARDENNE Planar Magnetrons.
Planar-Magnetrons für Sputter-Anlagen Mehr erfahren
Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

Technical Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

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Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

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Baoji, Exhibition Center

 

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Fürstenfeldbruck, Veranstaltungsforum

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SPIE Defense Orlando 2023

Booth: 1621
Orlando, Gaylord Palms Resort & Convention Center

Ansprechpartner
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Technical Sales Europe VON ARDENNE GmbH