Rohr-Magnetrons
für Sputter-Anlagen

Die Abscheidung mit Rohr­kathoden bzw. Magnetrons hat sich in den letzten 25 Jahren zum bevorzugten Standard­verfahren entwickelt. Das Sputtern mit diesen Komponenten bietet den Vorteil der längeren Target-Lebensdauer und somit verlängerter Produktionszeit.

Zusätzlich bietet diese Art der Abscheidung eine erhöhte Prozess­stabilität, speziell beim Sputtern von dielektrischen Schichten.

Magnetrons sind Schlüssel­komponenten bei VON ARDENNE.  Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfangreichen Erkenntnisse einfließen lassen, die wir durch hunderte ausgelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Längere Produktionszeit

durch verlängerte Target-Lebensdauer

Hohe Prozess­stabilität

durch geringe Redepositions­zone

Beste Beschichtungsergebnisse

hinsichtlich Rate & Schicht­gleichmäßigkeit

Software
VA CATALOG Digitale Stückliste mit integrierten 3D-Modellen Mehr erfahren
VA COLLEGE E-Learning-Plattform Mehr erfahren
VA LIVE Virtuelle Hilfe mit AR Brille Mehr erfahren
VA PROCOS2 Steuerung des reaktiven Sputterns von Verbundschichten Mehr erfahren
VA TIPCOS Lokale Bestimmung & Ausführung von Kipppunkten Mehr erfahren
VA TRIM & SHIM Online Trimming & Shimming Service Mehr erfahren
myVA Online-Kundenportal Mehr erfahren
Anlagen
Anlagen
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Webcoatinganlage.
FOSA CX Folien­beschichtungs­anlage Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Webcoatinganlage.
FOSA LabX Beschichtungs­anlage für Flexible Substrate Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Webcoatinganlage.
FOSA MX Folienbeschichtungsanlage Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer vertikalen VON ARDENNE Glasbeschichtungsanlage.
GC120VCR Vertikale Beschichichtungs-anlage Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer horizontalen VON ARDENNE Glasbeschichtungsanlage.
GC330H & GC254H Glas­beschichtungs­anlagen Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer horizontalen VON ARDENNE Beschichtungsanlage.
HISS Horizontale Beschichtungsanlage Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Metallbandbeschichtungsanlage.
MSC500B Beschichtungsanlage für Metallband Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer horizontalen VON ARDENNE Glasbeschichtungsanlage.
PIA|nova® Horizontale Beschichtungs­anlage Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer vertikalen VON ARDENNE Beschichtungsanlage.
VISS Vertikale Beschichtungsanlage Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Inline-Beschichtungsanlage.
XEA|nova® L Inline-Beschichtungs­anlage Mehr erfahren
Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

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Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

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29.03.2023 - 31.03.2023
MECSPE 2023

Booth: 14 / E36
Bologna, BolognaFiere

13.04.2023 - 14.04.2023
nPV Workshop Delft 2023

Delft, Technical University

19.04.2023 - 22.04.2023
TiExpo Baoji 2023

Booth: B / 360
Baoji, Exhibition Center

 

25.04.2023 - 26.04.2023
OptecNet Fürstenfeldbruck 2023

Fürstenfeldbruck, Veranstaltungsforum

30.04.2023 - 04.05.2023
SPIE Defense Orlando 2023

Booth: 1621
Orlando, Gaylord Palms Resort & Convention Center

Ansprechpartner
Ronny Borchel

Product Manager Plasma Components VON ARDENNE GmbH