Rohr-Magnetrons
für Sputter-Anlagen

Die Abscheidung mit Rohr­kathoden bzw. Magnetrons hat sich in den letzten 25 Jahren zum bevorzugten Standard­verfahren entwickelt. Das Sputtern mit diesen Komponenten bietet den Vorteil der längeren Target-Lebensdauer und somit verlängerter Produktionszeit.

Zusätzlich bietet diese Art der Abscheidung eine erhöhte Prozess­stabilität, speziell beim Sputtern von dielektrischen Schichten.

Magnetrons sind Schlüssel­komponenten bei VON ARDENNE.  Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfangreichen Erkenntnisse einfließen lassen, die wir durch hunderte ausgelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Längere Produktionszeit

durch verlängerte Target-Lebensdauer

Hohe Prozess­stabilität

durch geringe Redepositions­zone

Beste Beschichtungsergebnisse

hinsichtlich Rate & Schicht­gleichmäßigkeit

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22.04.2024 - 26.04.2024
H2 FCell Hannovermesse 2024

Booth: nn
Hannover, Messe

25.04.2024 - 28.04.2024
China Glass 2024

Booth: Hall N1 / 126
Shanghai, New International Expo Centre

06.05.2024 - 09.05.2026
SVC Annual Conference 2024

Booth: nn
Chicago Hilton, Illinois, USA

14.05.2024 - 16.05.2024
Optatec Frankfurt 2024

Booth: 318
Messe Frankfurt (1 Halle)

16.05.2024 - 18.05.2024
TiExpo 2024

Booth: A / 099
Suzhou. (The city close to Shanghai)

 

Ronny Borchel

Product Manager Plasma ComponentsVON ARDENNE GmbH

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