Rohr-Magnetrons
für Sputter-Anlagen

Die Abscheidung mit Rohr­kathoden bzw. Magnetrons hat sich in den letzten 25 Jahren zum bevorzugten Standard­verfahren entwickelt. Das Sputtern mit diesen Komponenten bietet den Vorteil der längeren Target-Lebensdauer und somit verlängerter Produktionszeit.

Zusätzlich bietet diese Art der Abscheidung eine erhöhte Prozess­stabilität, speziell beim Sputtern von dielektrischen Schichten.

Magnetrons sind Schlüssel­komponenten bei VON ARDENNE.  Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfangreichen Erkenntnisse einfließen lassen, die wir durch hunderte ausgelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Längere Produktionszeit

durch verlängerte Target-Lebensdauer

Hohe Prozess­stabilität

durch geringe Redepositions­zone

Beste Beschichtungsergebnisse

hinsichtlich Rate & Schicht­gleichmäßigkeit

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27.09.2023 - 28.09.2023
H2 Technology Expo Bremen 2023

Booth: 5H130
Bremen, Messe

01.10.2023 - 04.10.2023
Titanium Denver 2023

Booth:  581
Denver, Gaylord of the Rockies Resort

04.10.2023 - 06.10.2023
REI India 2023

Noida, India Expo Center Greater Noida

16.10.2023 - 19.10.2023
SPIE Optifab Rochester 2023

Rochester, Joseph A. Floreano Riverside Convention Center

05.11.2023 - 11.11.2023
AVS Symposium & Exh. Portland 2023

Portland, Oregon Convention Center

Ronny Borchel

Product Manager Plasma ComponentsVON ARDENNE GmbH

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