Rohr-Magnetrons

für Sputter-Anlagen

Die Abscheidung mit Rohr­kathoden bzw. Magnetrons hat sich in den letzten 25 Jahren zum bevorzugten Standard­verfahren entwickelt. Das Sputtern mit diesen Komponenten bietet den Vorteil der längeren Target-Lebensdauer und somit verlängerter Produktionszeit.

Zusätzlich bietet diese Art der Abscheidung eine erhöhte Prozess­stabilität, speziell beim Sputtern von dielektrischen Schichten.

Magnetrons sind Schlüssel­komponenten bei VON ARDENNE.  Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfangreichen Erkenntnisse einfließen lassen, die wir durch hunderte ausgelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.