VISS
Vertikale Beschichtungsanlage

Die VISS ist eine modulare Anlage für vertikale Abscheidungs­prozesse. Sie ist eine sehr gute Wahl, wenn Sie von der Labor­anwendung zur Produktion übergehen wollen.

Die Anlage ist entweder als Inline-Version mit einem Ende oder als Durchlauf­version für kontinuierliche Prozesse erhältlich. Sie ist gut dafür geeignet, auf Substrat­breiten von bis zu 600 mm zu skalieren. 

Die Substrate werden mit einem Carrier-System transportiert, das vertikal um sieben Grad geneigt ist. Die Anlage kann be- und entladen werden, ohne dass die Vorderseite der Substrate dabei berührt wird.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Skalierbar

durch modulares Design

Leicht anpassbar an Ihre Bedürfnisse

durch flexible Konfigurations­optionen

Laden ohne Berührung der Substrat­vorderseite

durch Carrier-Transport

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