VISS

Vertikale Beschichtungsanlage

Die VISS400 und VISS600 sind mo­du­la­re An­la­gen für ver­ti­ka­le Be­schich­tungs­pro­zes­se. Sie sind ide­al, wenn Sie Ih­re La­bor­an­wen­dun­gen in den Pro­duk­ti­ons­maß­stab über­füh­ren wol­len.

Bei­de Platt­for­men sind so­wohl als In­line-Ver­si­on mit ei­nem En­de oder als Durch­lauf­ver­si­on für kon­ti­nu­ier­li­che Pro­zes­se er­hält­lich. Je nach Mo­dell sind sie für Sub­strat­brei­ten von 400 mm bzw. bis zu 600 mm zu ska­lie­ren. Die Sub­stra­te wer­den mit ei­nem Car­ri­er-Sys­tem trans­por­tiert, das ver­ti­kal um sie­ben Grad ge­neigt ist. Die An­la­ge kann be- und ent­la­den wer­den, oh­ne dass die Vor­der­sei­te der Sub­stra­te da­bei be­rührt wird.

Da­mit er­laubt das An­la­gen­kon­zept die kos­ten­ef­fi­zi­en­te Be­schich­tung gro­ßer Sub­stra­te. Zu­sam­men mit dem ver­ti­ka­len Sub­strat­trans­port er­mög­licht dies ei­nen par­ti­kel­frei­en Be­schich­tungs­pro­zess, der die VISS-An­la­gen für den Ein­satz in der Halb­lei­ter­in­dus­trie qua­li­fi­ziert – vor al­lem für An­wen­dun­gen wie Ad­van­ced Pack­a­ging, Leis­tungs­elek­tro­nik und Pie­zo­sen­so­ren.

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