VA PROCOS 2

Prozess­kontroll­system für reaktives Sputtern

VA PROCOS 2 ist ein modulares Prozess­kontroll­system, das speziell für die Stabilisierung von reaktiven Sputter-Prozessen im kritischen Übergangs­modus entwickelt wurde.

Es eignet sich zur Prozess­charakterisierung durch optische Emissionslinien, Kathoden­spannung, Sauerstoff­partialdruck, Kombinationen davon sowie weiterer SPS-Signale.

Darüber hinaus kann es zur Stabilisierung der Plasma­entladung und damit der Produkt­eigenschaften verwendet werden. Dies gelingt durch Anpassung der Zufuhr eines oder mehrerer reaktiver Gase.

VON ARDENNE ist seit 1980 führend bei reaktiven Sputter-­Prozessen. Darüber hinaus bieten wir seit vielen Jahren unser Prozess-­Steuerungs­system VA PROCOS an und haben es kontinuierlich optimiert.

Unser aktuelles System VA PROCOS 2 steuert das reaktive Magnetron-Sputtern von Verbundschichten (wie z.B. ITO, TiO₂, TiN, Al₂, O₃, AlN, SnO₂, SiO₂, Si₃N₄, ZnO, ZrO or Ta₂O₅ ) und sorgt für zuverlässige Stabilität der Arbeits­punkte an den kritischen Übergangs­bereichen. Außerdem steuert das System zuverlässig ein oder mehrere Einlässe für Reaktiv­gase (z.B. Oxynitride).

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