VA PROCOS 2
Prozess­kontroll­system für reaktives Sputtern

VA PROCOS 2 ist ein modulares Prozess­kontroll­system, das speziell für die Stabilisierung von reaktiven Sputter-Prozessen im kritischen Übergangs­modus entwickelt wurde.

Es eignet sich zur Prozess­charakterisierung durch optische Emissionslinien, Kathoden­spannung, Sauerstoff­partialdruck, Kombinationen davon sowie weiterer SPS-Signale.

Darüber hinaus kann es zur Stabilisierung der Plasma­entladung und damit der Produkt­eigenschaften verwendet werden. Dies gelingt durch Anpassung der Zufuhr eines oder mehrerer reaktiver Gase.

VON ARDENNE ist seit 1980 führend bei reaktiven Sputter-­Prozessen. Darüber hinaus bieten wir seit vielen Jahren unser Prozess-­Steuerungs­system VA PROCOS an und haben es kontinuierlich optimiert.

Unser aktuelles System VA PROCOS 2 steuert das reaktive Magnetron-Sputtern von Verbundschichten (wie z.B. ITO, TiO2, TiN, Al2, O3, AlN, SnO2, SiO2, Si3N4, ZnO, ZrO or Ta2O5 ) und sorgt für zuverlässige Stabilität der Arbeits­punkte an den kritischen Übergangs­bereichen. Außerdem steuert das System zuverlässig ein oder mehrere Einlässe für Reaktiv­gase (z.B. Oxynitride).

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Zuverlässige & industrie­erprobte Steuerung

für reaktives Sputtern aller üblichen Schichtsysteme

Leicht konfigurierbar mit externen Komponenten

für alle Anwendung des reaktiven Sputterns

Leicht zu integrieren:

Konstruiert für Einsatz in beliebigen Sputter-Anlagen

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