Magnetbars

für Rohr-Magnetrons

Bei der Beschichtung von Dünn­schichten durch Sputtern als Beschichtungs­verfahren spielen Magnet­felder eine wichtige Rolle. Magnet­felder haben einen erheblichen Einfluss auf die Beschichtungs­ergebnisse wie Homogenität und Schicht­eigenschaften.

Neben den Beschichtungs­ergebnissen haben Magnet­felder auch einen großen Einfluss auf die Kosten pro beschichteter Fläche. Ein hochwertiges Magnetfeld kann eine lange Kampagnen­zeit durch hohe Ausnutzung des Target-Materials unterstützen.

VON ARDENNE Magnetbars sind auf dem neuesten Stand der Technik. Wir haben mehr als 2000 davon in allen Anwendungsbereichen für Beschichtung installiert.

Bei der Entwicklung unserer Magnetbars legen wir Wert auf Zielerosion, Schicht­gleichmäßigkeit, Prozess­stabilität und anwendungs­abhängige Feld­stärken.

Sie sind in einer breiten Palette von Stärken und Längen erhältlich und werden in unseren eigenen Einrichtungen zur Qualitäts­kontrolle geprüft.

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