STEIGERN SIE IHREN ERTRAGbeim Reaktiven Sputtern
mit einem hochflexiblen Prozesskontrollsystem
VA PROCOS2
Steuerung des reaktiven Sputterns von Verbundschichten
VA PROCOS 2 ist ein modulares Prozesskontrollsystem, das speziell für die Stabilisierung von reaktiven Sputterprozessen im kritischen Übergangsmodus entwickelt wurde.
Es eignet sich zur Prozesscharakterisierung durch optische Emissionslinien, Kathodenspannung, Sauerstoffpartialdruck, Kombinationen davon sowie weiterer SPS-Signale.
Darüber hinaus kann es zur Stabilisierung der Plasmaentladung und damit der Produkteigenschaften verwendet werden. Dies gelingt durch Anpassung der Zufuhr eines oder mehrerer reaktiver Gase.
VON ARDENNE ist seit 1980 führend bei reaktiven Sputter-Prozessen. Darüber hinaus bieten wir seit vielen Jahren unser Prozess-Steuerungssystem VA PROCOS an und haben es kontinuierlich optimiert.
Unser aktuelles System VA PROCOS 2 steuert das reaktive Magnetron-Sputtern von Verbundschichten und sorgt für zuverlässige Stabilität der Arbeitspunkte an den kritischen Übergangsbereichen. Außerdem steuert das System zuverlässig ein oder mehrere Einlässe für Reaktivgase.
Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.
Benefits
Zuverlässigkeit: Industrieerprobte Steuerung für reaktives Sputtern
aller üblichen Schichtsysteme
Leicht konfigurierbar mit externen Komponenten
für alle Anwendungen des reaktiven Sputterns
Leicht zu integrieren:
Konstruiert für Einsatz in beliebigen Sputter-Anlagen
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