mit einem hoch­flexiblen Prozess­kontrollsystem

VA PROCOS2
Steuerung des reaktiven Sputterns von Verbundschichten

VA PROCOS 2 ist ein modu­lares Prozess­kontrollsystem, das speziell für die Stabili­sierung von reaktiven Sputter­prozessen im kritischen Übergangs­modus entwickelt wurde.

Es eignet sich zur Prozess­charakterisierung durch optische Emissions­linien, Kathoden­spannung, Sauerstoff­partialdruck, Kombinationen davon sowie weiterer SPS-­Signale.

Darüber hinaus kann es zur Stabili­sierung der Plasma­entladung und damit der Produkt­eigenschaften verwendet werden. Dies gelingt durch Anpassung der Zu­fuhr eines oder mehre­rer reakti­ver Gase.

VON ARDENNE ist seit 1980 führend bei reaktiven Sputter-­Prozessen. Darüber hinaus bieten wir seit vielen Jahren unser Prozess-­Steuerungs­system VA PROCOS an und haben es kontinuierlich opti­miert.

Unser aktuelles System VA PROCOS 2 steuert das reaktive Magnetron-­Sputtern von Verbund­schichten und sorgt für zuverlässige Stabili­tät der Arbeits­punkte an den kritischen Übergangs­bereichen. Außerdem steuert das System zuverlässig ein oder mehre­re Einlässe für Reaktiv­gase.

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Benefits

Zuverlässig­keit: Industrie­erprobte Steuerung für reaktives Sputtern

aller üblichen Schicht­systeme

Leicht konfigurier­bar mit exter­nen Kompo­nenten

für alle Anwen­dungen des reakti­ven Sputterns

Leicht zu integrieren:

Konstruiert für Einsatz in beliebigen Sputter-­Anlagen

Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

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Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

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Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

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Jana Schilling

Technical Sales ManagerVON ARDENNE GmbH

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