Wafer-Level-Optik
Beschichtungs­anlagen für präzisions­optische Komponenten

Optische Filter­schichten, die direkt auf Glas- oder Halbleiter­wafern abgeschieden werden, ermöglichen optische Produkte, die eine sehr geringe Größe und ein wettbewerbs­fähiges Preis-Leistungs-Verhält­nis haben. Daher haben sie den Weg in verschie­dene Märkte wie die Unterhaltungs­elektronik oder die Automobil­industrie gefunden. Durch die steigende Nachfrage nach Groß­serienfertigung rückt die Wafer-Level-Optik in den Fokus der Industrie.

Mit der OPTA X bieten wir Ihnen  eine Beschichtungs­anlage, die speziell für die Anforderungen in den Bereichen der Photonik und Wafer-Level-Optik entwickelt wurde.

Für die Multilayer-Beschichtung von Wafer-basierten Mikro­linsen-Arrays, Halbleiter-Sen­soren oder Filter-on-Chip CMOS ermöglicht Ihnen die OPTA X eine voll­automatisierte, SEMI-kompa­tible Wafer-Hand­habung zur Integration in Halbleiter­fabriken. Neben Wafern mit 200 Millimetern Durch­messer ist die OPTA X zusätzlich für  Wafer­größen bis 300 Millimeter geeignet.

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Optische Filter­schichten direkt auf Halbleiter­scheiben

zum Beispiel für Silizium­geräte

Optische Überwachung der Trans­mission oder Re­flexion

direkt auf dem Wafer

SEMI-kompatible Wafer­handhabung

für die Integration in Halbleiter­fabriken

Anlagen
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Drehtelleranlage.
OPTA X Drehteller-­Beschichtungs­anlage Mehr erfahren
Technologien
Magnetron-Sputtern Kerntechnologie aus eigener Entwicklung & Fertigung Mehr erfahren
Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

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Dresden, Internationales Congress Center

Ansprechpartner
Michael Schneider

Technical Sales Europe VON ARDENNE GmbH