Wafer-Level-Optik
Beschichtungs­anlagen für präzisions­optische Komponenten

Optische Filter­schichten, die direkt auf Glas- oder Halbleiter­wafern abgeschieden werden, ermöglichen optische Produkte, die eine sehr geringe Größe und ein wettbewerbs­fähiges Preis-Leistungs-Verhält­nis haben. Daher haben sie den Weg in verschie­dene Märkte wie die Unterhaltungs­elektronik oder die Automobil­industrie gefunden. Durch die steigende Nachfrage nach Groß­serienfertigung rückt die Wafer-Level-Optik in den Fokus der Industrie.

Mit der OPTA X bieten wir Ihnen  eine Beschichtungs­anlage, die speziell für die Anforderungen in den Bereichen der Photonik und Wafer-Level-Optik entwickelt wurde.

Für die Multilayer-Beschichtung von Wafer-basierten Mikro­linsen-Arrays, Halbleiter-Sen­soren oder Filter-on-Chip CMOS ermöglicht Ihnen die OPTA X eine voll­automatisierte, SEMI-kompa­tible Wafer-Hand­habung zur Integration in Halbleiter­fabriken. Neben Wafern mit 200 Millimetern Durch­messer ist die OPTA X zusätzlich für  Wafer­größen bis 300 Millimeter geeignet.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann klicken Sie auf die Inhalte weiter unten oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Optische Filter­schichten direkt auf Halbleiter­scheiben

zum Beispiel für Silizium­geräte

Optische Überwachung der Trans­mission oder Re­flexion

direkt auf dem Wafer

SEMI-kompatible Wafer­handhabung

für die Integration in Halbleiter­fabriken

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16.10.2023 - 19.10.2023
SPIE Optifab Rochester 2023

Rochester, Joseph A. Floreano Riverside Convention Center

05.11.2023 - 11.11.2023
AVS Symposium & Exh. Portland 2023

Portland, Oregon Convention Center

29.11.2023 - 30.11.2023
W3+Fair Jena 2023

Booth: B7
Jena, Sparkassen Arena

29.11.2023 - 01.12.2023
Vacuum Show Japan 2023

Booth: West Hall / 581
Tokyo, Big Sight

Michael Schneider

Industry Manager OpticsVON ARDENNE GmbH

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