TOPCon Solar­zellen

Vakuum­beschichtungs­anlagen  & Expertise

N-Type TOPCon Solar­zellen bieten zahlreiche Vorteile gegen­über PERC-Solar­zellen, wie eine geringere Degra­dation und eine höhere Effi­zienz.

Wir haben die Sputter-Techno­logien weiter­entwickelt, die sich in VON ARDENNE-Anlagen für die Massen­fertigung von Hetero­junction-Solar­zellen bewährt haben. Somit können wir Ihnen auch im TOPCon-Markt Be­schich­tungs­anlagen mit einer Kapa­zität von bis zu 1,3 Giga­watt anbieten.

Der Sputter­prozess erlaubt die einseitige, voll­flächige Beschichtung der Solarzellen­rückseite mit Tunnel­oxid und einer dotierten amor­phen Silizium­schicht im hoch­pro­duk­tiven Inline-Verfahren. Das Er­geb­nis ist ein deutlich höherer Ertrag als bei her­kömmlichen PECVD- und LPCVD-Pro­zessen. 

Außerdem können wir mit PVD die vorder- und rückseitige SiNx-Schicht in einer einzigen Anlage abscheiden. Die Kombination der beiden Prozessschritte - TOPCon und SiNx-Abscheidung mit PVD - führt zu einer silan- und phosphinfreien Produktion.