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Geschichte

In Verbindung mit separaten Evakuierungssystemen schützen sie den Raum der Strahlerzeugung vakuumseitig weitestgehend vor den rauen Bedingungen im Schmelz- oder Verdampfungsbereich. Eine weitere…

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Geschichte

Hochreine Metalle wurden dafür benötigt, die nach Schmelzverfahren unter extremen Vakuumbedingungen verlangten. Lichtbogen- und Induktionsöfen kamen dabei an ihre Grenzen. In dieser Zeit wurden die…

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Geschichte

Am Ende des zweiten Weltkriegs waren alle Hilfsmittel bekannt, um mit der Elektronenstrahlmetallurgie zu beginnen. Aber erst 20 Jahre später begannen sich industrielle Lösungen für das…

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Geschichte

Elektronenstrahlkanonen dieser ersten Generation hatten aufgrund ihrer auf Hochspannungspotenzial liegenden, direkt wassergekühlten Kathodensysteme und der dafür erforderlichen Isolatoren einen…

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Cluster Systems Details - R&D<br>Tool

R&DTool Sputter chamber with load chamber for one substrate

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Cluster Systems Details - CS400ES

CS400ES Cluster system for R&D and small-volume production

URL: /produkte/cluster-systeme/cluster-systems-details/#c36596 Mehr erfahren

Cluster Systems Details - CS400PS

CS400PS Cluster system for R&D and medium-volume production

URL: /produkte/cluster-systeme/cluster-systems-details/#c36597 Mehr erfahren

Cluster Systems Details - CS400S

CS400S Cluster system for high-volume production

URL: /produkte/cluster-systeme/cluster-systems-details/#c36598 Mehr erfahren

Cluster Systems Details - Batch System

Batch System Evaporation batch system for R&D and small-volume production

URL: /produkte/cluster-systeme/cluster-systems-details/#c36790 Mehr erfahren

Ziele

Im Rahmen der Zertifizierung unseres Energiemanagements bewerten wir die energetische Performance unserer Standortbetriebe, evaluieren Verbesserungsmaßnahmen und setzen diese im Rahmen unserer…

URL: /unternehmen/verantwortung/ziele/#c36834 Mehr erfahren
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