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Planar-Magnetrons - Steigern Sie Ihren Ertrag beim Sputtern

Steigern Sie Ihren Ertrag beim Sputtern bei höchster Schicht­gleichmäßigkeit durch höchste Zuverlässigkeit & Laufzeit

X-Series Endblöcke - Einfache & sichere Wartungs­abläufe

Einfache & sichere Wartungs­abläufe durch Plug & Play-Kartuschen­design

X-Series Endblöcke - Niedrige Betriebskosten

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Y-Series Endblöcke - Niedrige Betriebskosten

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Elektronenstrahlsysteme - Modulares Design

Modulares Design mit klaren Schnittstellen zur Anlagen­integration

Ex-Situ Messsysteme - Industriell erprobte & aufeinander abgestimmte Messtechnik

Industriell erprobte & aufeinander abgestimmte Messtechnik für optische & elektrische Schicht­eigenschaften

Ex-Situ Messsysteme - Kontinuierliche Qualitätssicherung

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Ex-Situ Messsysteme - Qualität sichern & Fehler erkennen

Qualität sichern & Fehler erkennen mit Ex-Situ Messystemen nach der Vakuum­beschichtung

In-Situ Mess­systeme - Kontinuierliche Qualitäts­sicherung

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Qualität sichern & Prozesse überwachen mit In-Situ Messystemen während der Vakuum­beschichtung

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