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Y-Series Endblöcke - Niedrige Betriebskosten

Niedrige Betriebskosten durch geringen Wartungs­aufwand & verschleißarme Materialien

Elektronenstrahlsysteme - Modulares Design

Modulares Design mit klaren Schnittstellen zur Anlagen­integration

Ex-Situ Messsysteme - Industriell erprobte & aufeinander abgestimmte Messtechnik

Industriell erprobte & aufeinander abgestimmte Messtechnik für optische & elektrische Schicht­eigenschaften

Ex-Situ Messsysteme - Kontinuierliche Qualitätssicherung

Kontinuierliche Qualitätssicherung und  Parameter­steuerung

Ex-Situ Messsysteme - Qualität sichern & Fehler erkennen

Qualität sichern & Fehler erkennen mit Ex-Situ Messystemen nach der Vakuum­beschichtung

In-Situ Mess­systeme - Kontinuierliche Qualitäts­sicherung

Kontinuierliche Qualitäts­sicherung und  Parametersteuerung

In-Situ Mess­systeme - Qualität sichern & Prozesse überwachen

Qualität sichern & Prozesse überwachen mit In-Situ Messystemen während der Vakuum­beschichtung

Advanced Heating Control System - Verkürzte Anlaufzeit & minimierter Ausschuss

Verkürzte Anlaufzeit & minimierter Ausschuss durch zuverlässige Steuerung der Substrat­temperatur

Advanced Heating Control System - Effizienz steigern & Kosten senken

Effizienz steigern & Kosten senken für kürzere Anlaufzeiten & weniger Ausschuss durch gleich­mäßige Erwärmung von Substraten

VA PROCOS 2 - Zuverlässige & industrie­erprobte Steuerung

Zuverlässige & industrie­erprobte Steuerung für reaktives Sputtern aller üblichen Schichtsysteme