Laser-Arc-Verdampfen ist ein effektives Beschichtungsverfahren auf der Basis einer Vakuumbogenentladung. Die zeitliche und räumliche Steuerung der Entladung ermöglicht den Einsatz als lineare Beschichtungsquelle in größeren Produktionsanlagen. Diese Technologie ist besonders für die Abscheidung von Kohlenstoffschichten geeignet.

Durch eine gepulste Vakuumbogenentladung wird Material von der Kathode (z. B. Kohlenstoff) abgetragen. Mittels eines Lasers wird diese Entladung gezündet, wobei die Position der Entladung durch Variation des Auftreffpunktes des Lasers gesteuert wird. Sehr hohe Pulsströme führen zu einem hohen Anteil an ionisiertem Kathodenmaterial.

Mit dieser Technologie können tetraedrisch-amorphe Kohlenstoffschichten (ta-C) bis zu 30 µm abgeschieden werden. Um nicht nur die hohe Härte, sondern auch die niedrigen Reibungskoeffizienten zu erhalten, wird eine Nachbehandlung (Polieren) der Schichten empfohlen.

Zusätzlich können auch Partikelfilter zwischen Anlage und Beschichtungseinheit integriert werden. Diese Beschichtungen können für eine Vielzahl von tribologischen Anwendungen eingesetzt werden.

Sie wollen mehr erfahren? Dann klicken Sie auf die Inhalte weiter unten oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.