MEMS
Vakuum­beschichtungs­anlagen

Micro-Electro-Mechani­cal Systems (MEMS) sind winzige Geräte, die mecha­nische und elektro­nische Komponenten kombi­nieren. Sie werden in einer Viel­zahl von Anwendungen ein­gesetzt, darunter Sen­soren, Display-Technolo­gien und Mikro­fluidik. 

Wir bieten Ihnen flexible Vakuum­beschichtungsanlagen für die Fertigung von MEMS. Sie bieten die Möglich­keit, verschiedene Tech­nologien zu kombi­nieren, wie Ätzen, Ab­scheidung von Metalli­sierungs-, Halb­leiter- und Passivierungs­schichten, einer Nach­behandlung oder auch kunden­spezifische Anforderungen, je nach der spezifi­schen Anwendung.

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Leichte Anpassung an neue Prozesse & Anforderungen

durch flexibel konfigurier­bare Anlagen

Geringer Platzbedarf

durch kompaktes Design

Kosteneffiziente Anlagen

durch vollautomatisier­tes Konzept

Support
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05.11.2023 - 11.11.2023
AVS Symposium & Exh. Portland 2023

Portland, Oregon Convention Center

14.11.2023 - 17.11.2023
SEMICON Europa 2023

Booth: B2 / 461
München, Messe

29.11.2023 - 01.12.2023
Vacuum Show Japan 2023

Booth: West Hall / 581
Tokyo, Big Sight

Dr. Frank Hinze

Industry ManagerVON ARDENNE GmbH

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