Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) sind winzige Geräte, die mechanische und elektronische Komponenten kombinieren. Sie werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter Sensoren, Display-Technologien und Mikrofluidik.
Wir bieten Ihnen flexible Vakuumbeschichtungsanlagen für die Fertigung von MEMS. Sie bieten die Möglichkeit, verschiedene Technologien zu kombinieren, wie Ätzen, Abscheidung von Metallisierungs-, Halbleiter- und Passivierungsschichten, einer Nachbehandlung oder auch kundenspezifische Anforderungen, je nach der spezifischen Anwendung.
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Leichte Anpassung an neue Prozesse & Anforderungen
durch flexibel konfigurierbare Anlagen
Geringer Platzbedarf
durch kompaktes Design
Kosteneffiziente Anlagen
durch vollautomatisiertes Konzept