MEMS

Vakuum­beschichtungs­anlagen

Micro-Electro-Mechani­cal Systems (MEMS) sind winzige Geräte, die mecha­nische und elektro­nische Komponenten kombi­nieren. Sie werden in einer Viel­zahl von Anwendungen ein­gesetzt, darunter Sen­soren, Display-Technolo­gien und Mikro­fluidik. 

Wir bieten Ihnen flexible Vakuum­beschichtungsanlagen für die Fertigung von MEMS. Sie bieten die Möglich­keit, verschiedene Tech­nologien zu kombi­nieren, wie Ätzen, Ab­scheidung von Metalli­sierungs-, Halb­leiter- und Passivierungs­schichten, einer Nach­behandlung oder auch kunden­spezifische Anforderungen, je nach der spezifi­schen Anwendung.

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