Mit der DREVA erhalten Sie eine flexible PVD-Beschichtungsanlage zur Abscheidung von Hartstoffschichten durch kathodische ARC-Verdampfung.
Sie ermöglicht Ihnen auch den Einsatz von planaren oder drehbaren Magnetron-Sputterquellen bis hin zu HiPIMS. Die Verdampfer sind als kreisförmige, planare (gesteuerte) ARC-Verdampfungsquellen ausgelegt.
Die Hohlkathoden-Plasmaquelle kann zur Aktivierung, Feinreinigung und Heizung der Substrate eingesetzt werden. Sie zeichnet sich durch hohe Entladungsströme im Bereich von >100 A und eine entsprechend hohe Plasmadichte und BIAS-Ströme auf den Substraten aus.
Die Anlage verfügt über eine vollautomatische Rezeptursteuerung, kann aber auch im manuellen Modus betrieben werden. Sie wird mit einer Reihe von Standardrezepten für die Abscheidung von Hartstoffschichten geliefert.
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durch kathodischen ARC-Verdampfungsverfahren
durch modulare Quellenkonfiguration
mit dreifacher Substratrotation für 3D-Teile
