DREVA
PVD-Hartstoff­beschichtungs­anlage

Mit der DREVA erhalten Sie eine flexible PVD-Beschichtungsanlage zur Abscheidung von Hartstoffschichten durch kathodische ARC-Verdampfung.

Sie ermöglicht Ihnen auch den Einsatz von planaren oder drehbaren Magnetron-Sputterquellen bis hin zu HiPIMS. Die Verdampfer sind als kreisförmige, planare (gesteuerte) ARC-Verdampfungsquellen ausgelegt.

Die Hohlkathoden-Plasmaquelle kann zur Aktivierung, Feinreinigung und Heizung der Substrate eingesetzt werden. Sie zeichnet sich durch hohe Entladungsströme im Bereich von >100 A und eine entsprechend hohe Plasmadichte und BIAS-Ströme auf den Substraten aus.

Die Anlage verfügt über eine vollautomatische Rezeptursteuerung, kann aber auch im manuellen Modus betrieben werden. Sie wird mit einer Reihe von Standardrezepten für die Abscheidung von Hartstoffschichten geliefert.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Breites Spektrum an Hart­stoff­schichten mit hohen Abscheidungsraten

durch kathodischen ARC-Verdampfungs­verfahren

Anwendungs­spezifische Anpassung für zukunfts­weisende Beschichtungen

durch modulare Quellen­konfiguration

Kundenspezifische Substrat­träger

mit dreifacher Substrat­rotation für 3D-Teile

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Marko Schöbitz

Technical Sales ManagerVON ARDENNE GmbH

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