Ihr Tempomat für Reaktives Sputternsteigert Ihren Ertrag mit optimalen Arbeitspunkten
durch automatische Kipppunktkontrolle
VA TIPCOS
Lokale Bestimmung & Ausführung von Kipppunkten
VA TIPCOS ermöglicht Ihnen die automatische Bestimmung des Kipppunktes und die Festlegung von Arbeitspunkten in der Nähe des Kipppunktes. Damit können Sie die besten Abscheideraten bei reaktiven Sputter-Prozessen gewährleisten.
Außerdem kann VA TIPCOS die Einstellungen reaktiver Prozesse für einzelne Magnetrons oder eine Gruppe benachbarter Magnetrons mit identischen Prozessparametern und demselben Target-Material überwachen.
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Your Challenge - Our Solution
Your Challenge - Our Solution
How
Benefits
Erhöhte Ressourceneffizienz
durch minimale Energie pro Produkt
Hoher Prozessertrag
durch stabile Produkteigenschaften & Prozesse
Unterstützt maximale Geschwindigkeit
der Produktionslinie
Support
Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung
Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung
Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen
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