Ihr Gleichmäßigkeitsoptimiererfür Magnetrons
Berechnung optimaler TrimShim Einstellungen
VA TRIMSHIM
Online Trimming & Shimming Service
VA TRIMSHIM ist eine webbasierte Anwendung, die die schnelle Optimierung der Dickengleichmäßigkeit ("%-Bereich") einer einzelnen dünnen Schicht ermöglicht.
Nach Eingabe eines gemessenen Dickenprofils und der aktuellen Trimmgaseinstellungen schlägt sie neue Trimmgaseinstellungen vor, die zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit führen.
Auf die gleiche Weise kann auch die Magnetbar-Anpassung ("Shimming") für optimale Einstellungen berechnet werden.
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Benefits
Vorschläge für optimierte Gas- & Magnetroneinstellungen
durch praxiserprobte mathematische Methode
Steigert die Produktqualität
und Betriebszeit der Anlagen
Nutzbar auf jedem Gerät
mit Internetanschluss & Browser
Support
Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung
Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung
Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen
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