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High-Utilization Planar-Kathode - Lange Laufzeiten

Lange Laufzeiten durch höchstmögliche Target­ausnutzung

Rohr-Magnetrons - Beste Beschichtungsergebnisse

Beste Beschichtungsergebnisse hinsichtlich Rate & Schicht­gleichmäßigkeit

Rohr-Magnetrons - Hohe Prozess­stabilität

Hohe Prozess­stabilität durch geringe Redepositions­zone

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Steigern Sie Ihren Ertrag beim Sputtern bei höchster Schicht­gleichmäßigkeit durch längere Target-Lebensdauer

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X-Series Endblöcke - Einfache & sichere Wartungs­abläufe

Einfache & sichere Wartungs­abläufe durch Plug & Play-Kartuschen­design

X-Series Endblöcke - Niedrige Betriebskosten

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Y-Series Endblöcke - Niedrige Betriebskosten

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Elektronenstrahlsysteme - Modulares Design

Modulares Design mit klaren Schnittstellen zur Anlagen­integration