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Geschichte

Hochreine Metalle wurden dafür benötigt, die nach Schmelzverfahren unter extremen Vakuumbedingungen verlangten. Lichtbogen- und Induktionsöfen kamen dabei an ihre Grenzen. In dieser Zeit wurden die…

Geschichte

Am Ende des zweiten Weltkriegs waren alle Hilfsmittel bekannt, um mit der Elektronenstrahlmetallurgie zu beginnen. Aber erst 20 Jahre später begannen sich industrielle Lösungen für das…

Geschichte

Elektronenstrahlkanonen dieser ersten Generation hatten aufgrund ihrer auf Hochspannungspotenzial liegenden, direkt wassergekühlten Kathodensysteme und der dafür erforderlichen Isolatoren einen…

Cluster Systems Details - R&D<br>Tool

R&DTool Sputter chamber with load chamber for one substrate

Cluster Systems Details - CS400ES

CS400ES Cluster system for R&D and small-volume production

Cluster Systems Details - CS400PS

CS400PS Cluster system for R&D and medium-volume production

Cluster Systems Details - CS400S

CS400S Cluster system for high-volume production

Cluster Systems Details - Batch System

Batch System Evaporation batch system for R&D and small-volume production

Ziele

Im Rahmen der Zertifizierung unseres Energiemanagements bewerten wir die energetische Performance unserer Standortbetriebe, evaluieren Verbesserungsmaßnahmen und setzen diese im Rahmen unserer…

Cluster Systems Details - Configuration Examples

Configuration Examples

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