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Cluster Systems Details - Pre-/Post-Treatment Chambers

Pre-/Post-Treatment Chambers The pre-treatment chambers can be fitted with components for preparing the substrate for the coating process such as: glow discharge device, inverse…

Cluster Systems Details - Coating Chambers

Coating Chambers The coating chambers can contain different process modules. The available coating processes are sputtering (planar or focal), thermal and e-beam evaporation and PECVD. For…

Cluster Systems Details

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Our cluster systems are based on a platform with many modular units. Therefore, every tool can be configured according to your specific applications. On top of that, special features can be…

Cluster Systems Details - Cluster Systems

Cluster Systems Modular, flexible & cost-effective

Ziele

VON ARDENNE verpflichtet sich, einen signifi­kanten Bei­trag zu den Sustainable Development Goals der UN sowie zum Green Deal der EU zu leisten. Wir setzen unsere Schwer­punkte dabei auf die…

Verantwortung - Den Nachhaltigkeitszielen der UN und EU verpflichtet

Den Nachhaltigkeitszielen der UN und EU verpflichtet VON ARDENNE verpflichtet sich, einen signifikanten Beitrag zu den Sustainable Development Goals zu leisten. Dazu haben wir eine Roadmap…

Geschichte

Von Anfang an wurde dabei die Raumladung vor der Kathode als emissionsbegrenzender Faktor genutzt. Dies sorgte für die nötige Stabilität der Strahlleistung und Strahlqualität gegenüber Schwankungen…