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High-Utilization Planar-Kathode

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Rohr-Magnetrons

Die Abscheidung mit Rohr­kathoden bzw. Magnetrons hat sich in den letzten 25 Jahren zum bevorzugten Standard­verfahren entwickelt. Das Sputtern mit diesen Komponenten bietet den Vorteil der…

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Rohr-Magnetrons

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Planar-Magnetrons

Das Abscheiden metallischer Schichten mit Planar-­Magnetrons gehört nach wie vor zu den Standard­verfahren in der industriellen Herstellung dünner Schichten. Durch die hohe Zuverlässigkeit und…

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Planar-Magnetrons

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X-Series Endblöcke

Mit der X-Serie bieten wir Ihnen zwei Arten von Drop-In End­blöcken für Sputter-Beschichtungs­anlagen. Die X-Serie ist für Upgrades und Nachrüstungen für alle Beschichtungs­systeme erhältlich,…

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X-Series Endblöcke

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Y-Series Endblöcke

Die YC-L Endblöcke der Y-Serie werden für Sputter-Anwendungen verwendet, bei denen extern montierte Endblöcke erforderlich sind. Das Grund­konzept ist ein Kartuschen-­Design, bei dem alle…

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Y-Series Endblöcke

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Linearverdampfer

Der VON ARDENNE Linear­verdampfer ist eine Komponente, die organisches und anorganisches Material in einem geschlossenen Tiegel thermisch verdampft. Der Dampf wird durch ein beheiztes Rohr in…

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