mit einem hoch­flexiblen Prozess­kontrollsystem

VA PROCOS2
Steuerung des reaktiven Sputterns von Verbundschichten

VA PROCOS 2 ist ein modu­lares Prozess­kontrollsystem, das speziell für die Stabili­sierung von reaktiven Sputter­prozessen im kritischen Übergangs­modus entwickelt wurde.

Es eignet sich zur Prozess­charakterisierung durch optische Emissions­linien, Kathoden­spannung, Sauerstoff­partialdruck, Kombinationen davon sowie weiterer SPS-­Signale.

Darüber hinaus kann es zur Stabili­sierung der Plasma­entladung und damit der Produkt­eigenschaften verwendet werden. Dies gelingt durch Anpassung der Zu­fuhr eines oder mehre­rer reakti­ver Gase.

VON ARDENNE ist seit 1980 führend bei reaktiven Sputter-­Prozessen. Darüber hinaus bieten wir seit vielen Jahren unser Prozess-­Steuerungs­system VA PROCOS an und haben es kontinuierlich opti­miert.

Unser aktuelles System VA PROCOS 2 steuert das reaktive Magnetron-­Sputtern von Verbund­schichten und sorgt für zuverlässige Stabili­tät der Arbeits­punkte an den kritischen Übergangs­bereichen. Außerdem steuert das System zuverlässig ein oder mehre­re Einlässe für Reaktiv­gase.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann klicken Sie auf die Inhalte weiter unten, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Benefits

Zuverlässig­keit: Industrie­erprobte Steuerung für reaktives Sputtern

aller üblichen Schicht­systeme

Leicht konfigurier­bar mit exter­nen Kompo­nenten

für alle Anwen­dungen des reakti­ven Sputterns

Leicht zu integrieren:

Konstruiert für Einsatz in beliebigen Sputter-­Anlagen

Support

Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung

Mehr erfahren
Perspektivische Darstellung einer VON ARDENNE Versuchsanlage.

Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung

Mehr erfahren

Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen

Mehr erfahren
Media
Lower Costs & Longer Lifetime: Functional Coatings for Automotive Displays

Mid console displays are becoming a central point of interaction, both as interactive information displays and for haptic input. The optical quality,…

What Are the Next Steps on the Road to Smart Manufacturing in Glass Coating?

Recently, if you follow a conversation about technological development in the glass industry, certain terms are likely to come up such as Industrie…

Die Entwicklung von Prozesskontrollsystemen für Sputter-Prozesse

Die Prozesssteuerung von Sputter-Prozessen hat eine lange Geschichte und viele Sensoren und Ansätze wurden untersucht und eingesetzt. Aber wie hat sie…

Kundenportal „myVA“ ab jetzt verfügbar

Es ist da: das myVA Kundenportal. VON ARDENNE hat es mit dem Ziel entwickelt, Interaktionen zu vereinfachen, wertvolle Erkenntnisse zu liefern und die…

CONTACT
23.04.2025 - 25.04.2025
TiExpo 2025

Baoji, China

International Conference & Exhibition Center

B/360

11.05.2025 - 16.05.2025
ICMCTF 2025

San Diego, CA, USA

Town & Country Resort

Presentation

26.05.2025 - 29.05.2025
China Glass 2025

Peking, China

China International Exhibition Center

E1 / 121

24.06.2025 - 27.06.2025
Laser World of Photonics 2025

Munich, Germany

Exhibition Center Munich

B.4160

28.09.2025 - 01.10.2025
Titanium Boston 2025

Boston, MA, USA

Jana Schilling

Technical Sales ManagerVON ARDENNE GmbH

Suche