Dielektrische Spiegel
Beschichtungsanlagen für präzisionsoptische Komponenten
Optische Spiegel aus dielektrischen Wechselschichten finden sich in verschiedenen Anwendungsbereichen wieder. Das sind beispielsweise biomedizinischen Anwendungen wie Zahnspiegel, Materialbearbeitung zur Führung und Lenkung von Laserstrahlen, als effiziente Reflektoren (Bragg-Spiegel) in Lichtleitern und optischen Resonatoren. Auch im Bereich AR/VR/XR als teilreflektive Komponenten für Projektion und Displayanwendungen werden sie verwendet.
Im Vergleich zu Metallspiegeln lassen sich dielektrische Schichtsysteme sehr anwendungsspezifisch gestalten. Dadurch kann im Hinblick auf die Wellenlänge ein selektives, schmal- oder breitbandiges Verhalten realisiert werden. Zudem sind dielektrische Reflektoren winkelsensitiv.
Wenn Sie dielektrische Spiegelschichten funktional verbessern wollen, bedarf es gesteigerter Abscheidepräzision, Schichtgüte und Reproduzierbarkeit. Für diesen Zweck hat VON ARDENNE die OPTA X mit spezieller CARS-Prozesstechnologie entwickelt.
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Glatte optische Schichten höchster Güte
durch spezielle CARS-Prozesstechnologie
Bis zu 50 % weniger Personalaufwand
durch ollautomatisierte Rezeptsteuerung, Carrier-Handling & Substratbestückung
Optische in-situ Prozessüberwachung
zur kontinuierlichen Spezifikationskontrolle