MEMS
Vakuum­beschichtungs­anlagen & Lösungen für MEMS-Herstellung

Mikro­elektro­mechanische Sys­teme (MEMS) sind winzige Geräte, die die Eigen­schaften mechanischer und elektro­nischer Kompo­nenten kombinieren. Sie werden in einer Vielzahl von An­wendungen ein­ge­setzt, darunter Sensoren, Display­technologien und Mikrofluidik.

Wir bieten Ihnen flexible, hoch kon­figurierbare Vakuum­beschichtungs­anlagen für die MEMS-Herstellung. Diese er­möglichen es Ihnen, ver­schiedene Tech­nologien zu kombi­nieren, wie Ätzen, Abscheidung von Metall-, Halbleiter- und Passivierungs­schichten, Nach­behand­lung oder andere kunden­spezifische An­forder­ungen, je nach Ihrer spezifischen An­wendung.

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Leichte Anpassung an neue Prozesse & Anforderungen

durch flexibel konfigurier­bare Anlagen

Geringer Platzbedarf

durch kompaktes Design

Kosteneffiziente Anlagen

durch vollautomatisier­tes Konzept

CLEANROOM
VA CLEANROOM
Reinraumgerechte Bemusterung & Anlagenmontage

für Präzisionsoptik, photonische Systeme & Halbleiteranwendungen

  • Fertigung von Vakuumbeschichtungsanlagen
  • Bemusterung & Pilotbeschichtung
  • 600 qm, AMC-fähiger Halbleiter-Reinraum
Support
Media
VON ARDENNE eröffnet Reinraum am Hauptsitz in Dresden

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