MEMS

Vakuum­beschichtungs­anlagen & Lösungen für MEMS-Herstellung

Mikro­elektro­mechanische Sys­teme (MEMS) sind winzige Geräte, die die Eigen­schaften mechanischer und elektro­nischer Kompo­nenten kombinieren. Sie werden in einer Vielzahl von An­wendungen ein­ge­setzt, darunter Sensoren, Display­technologien und Mikrofluidik.

Wir bieten Ihnen flexible, hoch kon­figurierbare Vakuum­beschichtungs­anlagen für die MEMS-Herstellung. Diese er­möglichen es Ihnen, ver­schiedene Tech­nologien zu kombi­nieren, wie zum Beispiel Ätzen, Abscheidung von Metall-, Halbleiter- und Passivierungs­schichten, Nach­behand­lung oder andere kunden­spezifische An­forder­ungen, je nach Ihrer individuellen An­wendung.