Messsysteme
für die Vakuumbeschichtung
Der kontinuierliche Nachweis der Schichteigenschaften im Beschichtungsprozess ist eine wichtige Aufgabe, wenn Sie eine Beschichtungsanlage betreiben. Das betrifft sowohl die Qualitätssicherung als auch die Fehlererkennung und Parametersteuerung. Wichtige Messgrößen sind hier optische Eigenschaften, wie Reflexion und Transmission. Aber auch der Flächenwiderstand ist entscheidend.
VON ARDENNE bietet hier zwei Lösungen an. Das In-Situ-Messsystem besteht aus lokal fest verbauten Messköpfen in der Anlage nach jedem Beschichtungsschritt. Sie liefern in einer Spur Informationen zur jeweiligen Einzelschicht. Das Ex-Situ-Messsystem scannt die gesamt Oberfläche des beschichteten Produktes nachdem es die Anlage verlassen hat.
Mit den Informationen aus beiden Systemen können Sie die Eigenschaften und deren Verteilung zur Qualitätssicherung messen. Und Sie können Rückschlüsse auf die Steuerung der Prozessparameter jeder Einzelschicht gewinnen.
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