VERA

Verdampfungsanlage

VERA-Systeme sind kompakte, kalottenförmige PVD-Batch-Beschichtungssysteme für die Verdampfung mit thermischen oder Elektronenstrahlverdampfern sowie Ionenstrahl- und Plasmaquellen. 

Die Plattform bietet ein hohes Maß an Flexibilität, einschließlich der Möglichkeit, verschiedene Substrat­typen zu bearbeiten, Mehr­schicht­beschichtungen durch­zuführen und unterschiedliche Technologien einzusetzen. Sie kann als Stand-alone-System direkt im Reinraum installiert oder automatisch durch eine Rein­raum­wand mittels Handling-System beladen werden.

Die VERA-Plattform verfügt über flexible Konfigurationen, die kunden­spezifisch angepasst werden können, und gewährleistet so die Anpassungs­fähigkeit an verschiedene Anwendungen in der Optik, Elektronik oder Halb­leiter­technik. Die universelle Substrat­kompatibilität wird durch den Einsatz von segmentierten Kuppeln, Paletten- oder Planeten-Systemen erreicht.

Mit vier verschiedenen Kammer­größen bietet das VERA-Portfolio die passende Lösung sowohl für Entwicklungs­projekte als auch für die Hoch­volumen-Produktion. Zusätzlich umfasst die Platt­form optische Über­wachungs­funktionen zur Sicher­stellung und Kontrolle der Prozess­qualität.