VERA-Systeme sind kompakte, kalottenförmige PVD-Batch-Beschichtungssysteme für die Verdampfung mit thermischen oder Elektronenstrahlverdampfern sowie Ionenstrahl- und Plasmaquellen.
Die Plattform bietet ein hohes Maß an Flexibilität, einschließlich der Möglichkeit, verschiedene Substrattypen zu bearbeiten, Mehrschichtbeschichtungen durchzuführen und unterschiedliche Technologien einzusetzen. Sie kann als Stand-alone-System direkt im Reinraum installiert oder automatisch durch eine Reinraumwand mittels Handhabungssystem beladen werden.
Die VERA-Plattform verfügt über flexible Konfigurationen, die kundenspezifisch angepasst werden können, und gewährleistet so die Anpassungsfähigkeit an verschiedene Anwendungen in der Optik, Elektronik oder Halbleitertechnik. Die universelle Substratkompatibilität wird durch den Einsatz von segmentierten Kuppeln, Paletten- oder Planeten-Systemen erreicht.
Mit vier verschiedenen Kammergrößen bietet das VERA-Portfolio die passende Lösung sowohl für Entwicklungsprojekte als auch für die Hochdurchsatzproduktion. Zusätzlich umfasst die Plattform optische Überwachungsfunktionen zur Sicherstellung und Kontrolle der Prozessqualität.
