N-Type TOPCon Solarzellen bieten zahlreiche Vorteile gegenüber PERC-Solarzellen, wie eine geringere Degradation und eine höhere Effizienz.
Wir haben die Sputter-Technologien weiterentwickelt, die sich in VON ARDENNE-Anlagen für die Massenfertigung von Heterojunction-Solarzellen bewährt haben. Somit können wir Ihnen auch im TOPCon-Markt Beschichtungsanlagen mit einer Kapazität von bis zu 1,3 Gigawatt anbieten.
Der Sputterprozess erlaubt die einseitige, vollflächige Beschichtung der Solarzellenrückseite mit Tunneloxid und einer dotierten amorphen Siliziumschicht im hochproduktiven Inline-Verfahren. Das Ergebnis ist ein deutlich höherer Ertrag als bei herkömmlichen PECVD- und LPCVD-Prozessen.
Außerdem können wir mit PVD die vorder- und rückseitige SiNx-Schicht in einer einzigen Anlage abscheiden. Die Kombination der beiden Prozessschritte - TOPCon und SiNx-Abscheidung mit PVD - führt zu einer silan- und phosphinfreien Produktion.
