Planar-Magnetrons
für Sputter-Anlagen

Das Abscheiden metallischer Schichten mit Planar-­Magnetrons gehört nach wie vor zu den Standard­verfahren in der industriellen Herstellung dünner Schichten.

Durch die hohe Zuverlässigkeit und modernste Magnetfeld­technologie sind die VON ARDENNE Planar-Magnetrons eine naheliegende Lösung für Ihre Produktions­anforderungen.

Magnetrons sind Schlüssel­komponenten bei VON ARDENNE.  Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfangreichen Erkenntnisse einfließen lassen, die wir durch hunderte ausgelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.

Wollen Sie mehr erfahren? Dann werfen Sie einen Blick in die Broschüre, oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.

Höchste Zuverlässigkeit & Laufzeit

durch bewährte Technik & höchstmögliche Target-Ausnutzung

Beste Schichtgleichmäßigkeit

durch optimiertes Magnetfeld

Flexible Lösungen für Ihren Beschichtungs­prozess

durch modularen Aufbau & mehreren Magnetfeld­optionen

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Ronny Borchel

Product Manager Plasma ComponentsVON ARDENNE GmbH

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