Thermisches Verdampfen ist ein weiteres Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), das im VON ARDENNE Beschichtungsanlagen zum Einsatz kommt. Es beruht auf der thermischen Verdampfung von organischen und anorganischen Materialien aus einem geschlossenen Tiegel.
Bei diesen sogenannten Linearverdampfernwird der Dampf durch ein beheiztes Rohr geführt, welches quer zum durchlaufenden Substrat angeordnet ist. Mittels einer Düsenanordnung entlang des Rohres wird der Dampf über die Breite des Substrates verteilt und kondensiert in einer homogenen Schicht auf dem Substrat.
Dieses Konzept ermöglicht den Bau skalierbarer Quellen mit begrenztem Platzbedarf für verschiedene Substratmaterialien und -abmessungen. Durch eine gezielte Dampfüberlagerung von mehreren benachbarten Verdampfungsrohren können damit auch Mischschichten erzeugt werden.
Dies ist ein Schlüsselprozessfür die Herstellung der nächsten Generation hocheffizienter Solarzellen, die auf organisch-anorganischen Hybrid-Materialien basieren: den Perowskiten. Dafür haben wir ein Konzept entwickelt, das die gleichzeitige Verdampfung von bis zu 4 verschiedenen Materialien ermöglicht.
Weitere Anwendungen dieser linearen Verdampfungstechnologie sind Antireflexschichten mit zusätzlichen wasser- und fettabweisenden Oberflächen, beispielsweise bei Displays.
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