Cluster-Systeme

für Forschung, Entwicklung & Produktion

Cluster­systeme basieren auf einer Plattform mit vielen modularen Einheiten. Deshalb können Sie jede Anlage je nach Ihren spezifischen Anwendungen konfigurieren. Darüber hinaus können spezielle Funktionen integriert werden, um Ihre Anforderungen zu erfüllen. Dank dieser Flexibilität helfen VON ARDENNE Cluster­systeme Ihnen, Ihre Betriebs­kosten zu senken.

VON ARDENNE Clustersysteme sind so vielseitig, dass sie die technologischen Anforderungen von Forschungs- und Entwicklungs­einrichtungen erfüllen aber auch für Massen­produktion geeignet sind.

Dies gilt insbesondere für die Entwicklung neuer Beschichtungs­technologien und die Erzeugung von Schichten mit spezifischen Eigenschaften und einer hohen Reproduzier­barkeit.

Die Anlagen lassen sich individuell für unterschiedliche Aufgaben konfigurieren: Um die zentrale Transfer­kammer können bis zu sieben Prozess­kammern und eine oder mehrere Schleusen installiert werden. Alle Kammern sind sowohl vakuum­technisch als auch steuerungs­technisch voneinander getrennt.

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