CLUSTER-­SYSTEME

für Forschung, Entwick­lung & Produktion

Die Cluster-Systeme CS200 und CS300 sind modulare Beschichtungs­anlagen, die sich für hoch­flexible bzw. hoch­produktive Prozesse in der Ent­wicklung bzw. Pro­duktion von Halb­leiter-, Optik- bzw. Photo­voltaik­anwendungen eignen. Die Anlagen sind speziell für die Prozessierung von Substraten mit einem Durch­messer von 200 mm bzw. 300 mm (inkl. G12-Wafer) ausgelegt.

Damit sind die VON ARDENNE Cluster-Systeme die ideale Wahl für die Entwicklung neuer Beschichtungs­­technologien und die Erzeug­ung von Schichten mit spezifischen Eigen­schaften und einer hohen Reproduzier­­barkeit. Zu den Anwendungen zählen  Sensoren und die Silizium-Durch­kontaktierung (TSV) für die 3D-Advanced-Packaging-Technologie in der Halb­leiter­industrie. Darüber hinaus findet die CS300 in der Ent­wicklung neuer Solarzell-Generationen wie TOPCon und Perowskit-Tandem ihren Einsatz. 

Dank ihrer großen Flexibilität helfen VON ARDENNE Cluster-Systeme Ihnen, Ihre Betriebs­­kosten zu senken. Die Anlagen lassen sich individuell für unter­schiedliche Auf­gaben konfigurieren: Um die zentrale Transfer­kammer können bis zu sieben Prozess­kammern und eine oder mehrere Schleusen installiert werden. Alle Kammern sind sowohl vakuum­technisch als auch steuerungs­technisch voneinander getrennt.

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