GIGA|nova DCX
Horizontale Wafer-Beschichtungsanlage

Wenn Sie hochproduktive Beschichtungsanlagen für eine Solarzellenfertigung von 1,3 Gigawatt Jahreskapazität suchen, ist die GIGA|nova DCX die perfekte Wahl für Sie. Es gibt keine vergleichbare Carrier-basierte Anlage am Markt mit höherem Durchsatz.

Die Inline-Beschichtungsanlage basiert auf unserer patentierten Beschichtungstechnologie für große Substratflächen. Die Anlage ist sehr breit und kann daher viele Substrate gleichzeitig verarbeiten. Deshalb eignet sie sich besonders für Anwendungen mit hoher Produktivität bei sehr niedrigen Kosten. Mit der GIGA|nova DCX können Sie Siliziumwafer beidseitig beschichten.

Dank ihres modularen Aufbaus kann die GIGA|nova DCX mit Magnetrons mit rotierenden Targets für die beidseitige Sputterabscheidung oder mit Linearverdampfern für thermisches Verdampfen ausgestattet werden.

Mögliche Anwendungen wären Transparente Leitfähige Oxide Schichten für HJT, Tunneloxide und n- bzw. p-dotiertes Silizium für beidseitiges TOPCon und ETL-, HTL-, Absorber-, TCO-, Rekombinations- und Metallschichten für Tandem Perowskite (2T).

Die GIGA|nova DCX profitiert von unserer Erfahrung, die wir bei der Auslieferung von mehr als 300 Beschichtungsanlagen für die Massenproduktion an Unternehmen in der Photovoltaik-Industrie gesammelt haben.

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