OPTA X

Drehteller-­Beschichtungs­anlage

Mit der OPTA X erhalten Sie eine Beschichtungsanlage für die anspruchs­vollsten optischen Schicht­systeme. Das trifft ins­be­son­de­re für Mulitlagenoptik mit einer ho­her An­zahl von wechselnden Schichten zu sowie für neue Materialien, die für Speicher-, Sensor- und Photonik-Anwendungen benötigt werden.

Die Anlage beschichtet horizontal. Für eine optimale Beschichtung kommt an der OPTA X die spezielle CARS-Prozess­technologie zum Einsatz. Aber auch weitere Prozess­führungen wie Meta Mode, reaktives oder nicht reaktives Sputtern stehen zur Verfügung. Auf bis zu fünf Ports pro Beschichtungs­seite können Ma­gnetrons und/oder Plasma­quellen integriert werden. In-situ-Mess­technik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungs­fortschritts steht ebenfalls für optisches Monitoring zur Verfügung.

Die Anlage verfügt über ein automatisches Handling-System mit modularem Aufbau, Standard-Ladeschnittstelle und Software-Infrastruktur zur Integration in Reinräume. Die OPTA X kann mit verschiedenen Substraten, unterschiedlichen Substratgrößen bis hin zu 300-mm-Wafern oder anderen Formfaktoren beladen werden, die in anpassbaren Carriern durch das System geführt werden.

Je nach Prozess- und Produktivitäts­anforderungen können verschiedene Modultypen kombiniert werden. Beispiele dafür wären mehrere Magazin­schleusen oder Vor- und Nachbehandlungs­kammern.

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