Mit der OPTA X erhalten Sie eine Beschichtungsanlage für die anspruchsvollsten optischen Schichtsysteme. Das trifft insbesondere für Mulitlagenoptik mit einer hoher Anzahl von wechselnden Schichten zu.
Die Anlage beschichtet horizontal. Für eine optimale Beschichtung kommt an der OPTA X die spezielle CARS-Prozesstechnologie zum Einsatz. Aber auch weitere Prozessführungen wie Meta Mode, reaktives oder nicht reaktives Sputtern stehen zur Verfügung. Auf bis zu fünf Ports pro Beschichtungsseite können Magnetrons und/oder Plasmaquellen integriert werden. In-situ-Messtechnik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungsfortschritts steht ebenfalls für optisches Monitoring zur Verfügung.
Die Anlage besitzt ein automatisches Handlingsystem. Es ist modular aufgebaut und ermöglicht eine sichere Bestückung der OPTA X mit unterschiedlichen Substraten, die in anpassbaren Carriern durch die Anlage geschleust werden. Je nach Prozess- und Produktivitätsanforderungen können verschiedene Modultypen kombiniert werden. Beispiele dafür wären mehrere Magazinschleusen oder Vor- und Nachbehandlungskammern.
Neben Substraten mit 200 Millimetern Durchmesser ist die OPTA X zusätzlich für Substratgrößen bis 300 Millimeter geeignet.
