OPTA X

Drehteller-­Beschichtungs­anlage

Mit der OPTA X erhalten Sie eine Beschichtungsanlage für die anspruchs­vollsten optischen Schicht­systeme. Das trifft ins­be­son­de­re für Mulitlagenoptik mit einer ho­her An­zahl von wechselnden Schichten zu.

Die Anlage beschichtet horizontal. Für eine optimale Beschichtung kommt an der OPTA X die spezielle CARS-Prozess­technologie zum Einsatz. Aber auch weitere Prozess­führungen wie Meta Mode, reaktives oder nicht reaktives Sputtern stehen zur Verfügung. Auf bis zu fünf Ports pro Beschichtungs­seite können Ma­gnetrons und/oder Plasma­quellen integriert werden. In-situ-Mess­technik zur Verfolgung und Korrektur des Beschichtungs­fortschritts steht ebenfalls für optisches Monitoring zur Verfügung.

Die Anlage besitzt ein automatisches Handling­system. Es ist modular aufgebaut und ermöglicht eine sichere Bestückung der OPTA X mit unterschiedlichen Substraten, die in anpassbaren Carriern durch die Anlage geschleust werden. Je nach Prozess- und Produktivitäts­anforderungen können verschiedene Modultypen kombiniert werden. Beispiele dafür wären mehrere Magazin­schleusen oder Vor- und Nachbehandlungs­kammern.

Neben Substraten mit 200 Millimetern Durch­messer ist die OPTA X zusätzlich für Substrat­größen bis 300 Millimeter geeignet.

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