OPTA X

Drehteller-­Beschichtungs­anlage

Mit der OPTA X200 und OPTA X300 bieten wir Ihnen hochproduktive Beschichtungsanlagen sowohl für an­spruchs­volls­te optische Schicht­sys­te­me als auch für die präzise Abscheidung von z.B. leistungsstarken piezoelektrischen Materialien wie AlN und AlScN. Dies trifft ins­be­son­de­re für Mulitlagenoptiken mit einer ho­hen An­zahl von wechselnden Schichten und hochwertige Schichtstapel von mikroelektronischen Anwendungen und Halb­leiter-Systemen zu.

Die Drehteller-Anlagen beschichten beidseitig ho­ri­zon­tal und sind je nach Modell für die Prozessierung von Substraten mit 200 mm bzw. 300 mm Durchmesser (inkl. G12-Wafer) ausgelegt. Für eine optimale Beschichtung kommt die spezielle CARS-Technologie zum Einsatz. Aber auch weitere Prozessführungen wie Meta Mode, re­ak­ti­ves oder nicht re­ak­ti­ves Sput­tern stehen zur Verfügung.

Für höchste Variabilität können Ma­gnetrons und/ oder Plas­ma­quel­len auf bis zu fünf Ports pro Beschichtungsseite in­te­griert wer­den. In-situ-Mess­tech­nik zur Ver­fol­gung und Kor­rek­tur des Be­schich­tungs­fort­schritts steht eben­falls für optisches Monitoring zur Ver­fü­gung.

Beide Modelle sind mit einem au­to­ma­ti­schen Hand­ling­sys­tem ausgerüstet. Dieses ist mo­du­lar auf­ge­baut und er­mög­licht eine si­che­re Be­stü­ckung mit un­ter­schied­li­chen Sub­stra­ten, die in an­pass­ba­ren Car­ri­ern durch die An­la­ge ge­schleust wer­den.

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