VISS

Vertikale Beschichtungsanlage

Die VISS ist eine modulare Anlage für vertikale Abscheidungs­prozesse. Sie ist eine sehr gute Wahl, wenn Sie von der Labor­anwendung zur Produktion übergehen wollen.

Die Anlage ist entweder als Inline-Version mit einem Ende oder als Durchlauf­version für kontinuierliche Prozesse erhältlich. Sie ist gut dafür geeignet, auf Substrat­breiten von bis zu 600 mm zu skalieren. 

Die Substrate werden mit einem Carrier-System transportiert, das vertikal um sieben Grad geneigt ist. Die Anlage kann be- und entladen werden, ohne dass die Vorderseite der Substrate dabei berührt wird.

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