Magnetron-Sputtern

Kerntechnologie aus eigener Entwicklung & Fertigung

Einer unser wichtigsten Kern­technologien ist das Magnetron­sputtern, auch Kathoden­zerstäubung genannt. Bei diesem Verfahren wird das Beschichtungs­material aus einem festen Körper (Target) abgetragen und auf das Substrat übertragen.

Das geschieht in einer magnetfeld­verstärkten Gasentladung im Vakuum. Durch diese Entladung wird ein Plasma, ein Mix aus Elektro­nen und positiven Gas­ionen erzeugt. Die positiv geladenen Ionen werden durch ein elektrisches Feld auf die Ober­fläche des Targets, das als Katode geschaltet ist, beschleunigt. Dadurch werden einzelne Atome aus der Target-­Oberfläche heraus­geschlagen.

Diese Atome kondensieren auf einem Substrat, zum Beispiel Glas, und bilden die Funktions­schicht. Dabei wird das Substrat entweder kontinuierlich an der Magnetron-­Sputterquelle vorbeigeführt (dynamische Beschichtung) oder es wird eine definierte Zeit dem Dampf­strom ausgesetzt (statische Beschichtung). Die Dicke der Schicht wird bei der dynamischen Beschich­tung durch die Material­abtragungs­rate vom Target sowie der Durchlauf­geschwindigkeit des Substrates bestimmt. Bei der statischen Beschichtung ist die Verweil­dauer für die Dicke bestimmend. 

Magnetron­sputtern kann für eine Vielzahl von metallischen und keramischen Schicht­materialien eingesetzt werden. Je nach Verfahren können komplexe Schichten mit einer Dicke bis zu einigen hundert Nanometern sehr effizient und mit hoher Gleich­förmigkeit auf großen Flächen abgeschieden werden. Zum Einsatz kommen, je nach Anwendung, rohrförmige oder ebene Targets, deren Länge mit der Breite der zu beschich­tenden Substrate skaliert werden kann.

Magnetrons sind Schlüssel­komponenten bei VON ARDENNE.  Wir entwickeln und fertigen die Magnetrons im eigenen Haus. So können wir die umfang­reichen Erkennt­nisse einfließen lassen, die wir durch hunderte aus­gelieferte Anlagen und Komponenten erworben haben.

Sie wollen mehr erfahren? Dann klicken Sie auf die Inhalte weiter unten oder nehmen Sie direkt Kontakt auf.